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顯微鏡物鏡掃描臺
顯微鏡物鏡掃描臺│·：上海昊量推出的物鏡掃描臺採用壓電陶瓷直推✘₪，以柔性鉸鏈為導向使物鏡掃描臺具有結構緊湊▩▩₪··、體積小▩▩₪··、無機械摩擦▩▩₪··、定位解析度高等優點✘₪，採用矽位移感測器✘₪，物鏡掃描臺相比於傳統的電容式位移感測器✘₪，物鏡掃描臺矽感測器使平移臺擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪↟╃╃☁✘。物鏡掃描臺的精度可以達到亞奈米✘₪，底噪低至10pm↟╃╃☁✘。

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超小型亞微米AF自動聚焦模組
超小型亞微米AF自動聚焦模組是集成了微型壓電馬達▩▩₪··、內建控制器▩▩₪··、位移感測器和微處理器於一體的微機械模組↟╃╃☁✘。

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