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Product catalog

精密定位系統/平移臺/掃描

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壓電馬達線性平移臺
U-XLS系列壓電馬達線性平移臺擁有*的特點│•·。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺│•·。$n該平移臺採用無聲的超聲波馬達✘↟•☁◕，超聲波馬達是透過一個耦合元件抵住移動導向轉子✘↟•☁◕，在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發產生超聲波振動✘↟•☁◕，促動器的變形使耦合元件相對於轉子產生週期性的對角運動✘↟•☁◕，每個迴圈的進給為幾個奈米✘↟•☁◕，高頻的訊號✘↟•☁◕，可以使轉子高速的運動│•·。因此AU-XLS系列壓電馬達平移臺的Z大速度可達到400m

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單軸壓電掃描臺/奈米平移臺
單軸壓電掃描臺/奈米平移臺採用壓電陶瓷直推驅動✘↟•☁◕，以柔性鉸鏈為運動副✘↟•☁◕，使其結構緊湊↟·↟₪↟、擁有小的體積↟·↟₪↟、無摩擦↟·↟₪↟、無間隙↟·↟₪↟、定位解析度高等優點│•·。

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超緊湊線性平移臺（亞微米）
超緊湊線性平移臺（亞微米）是集動力系統↟·↟₪↟、反饋系統和控制系統於一身的微機械系統│•·。在緊湊的空間中（29 x 20 x 10 mm）包含一個世界上Z小的壓電馬達和IC驅動↟·↟₪↟、非接觸式磁感應陣列位置感測器和PID控制器│•·。

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